ВЧ МЭМС и их применение

  • Формат: Книга
  • Автор:Варадан В., Виной К., Джозе К.
  • Автор(ы):Варадан В., Виной К., Джозе К.
  • Жанр:Электротехника(оборудование)
  • ISBN: -
  • Издательство: Техносфера
  • Серия: не указана
  • Город:М.
  • Год:2004
  • Cтраниц:528

Описание

  • В монографии подробно рассмотрены вопросы проектирования и применения, а также технологические аспекты производства разнообразных микроэлектромеханических устройств: переключателей, регулируемых индукторов и конденсаторов, фильтров, фазовращателей, линий передач и антенн, приведены преимущества и недостатки каждой отдельной конструкции и указаны способы их оптимизации. Целая глава посвящена такой важной теме, как монтаж микросистем, где обсуждаются методы построения корпусов микросистем и способы их сборки. Детальное описание методов изготовления микроустройств, как традиционных, применяемых в электронной промышленности, так и современных, разработанных специально для микросистем, делает книгу особенно ценной для специалистов. В 1982 году сотрудник фирмы IBM К. Петерсон по новому взглянул на кремний, увидев в нём не только полупроводниковый, но и конструкционный «механический» материал. Появление миниатюрных устройств, в которых гальванические (электрические) подсистемы интегрируются на микроуровне с механическими, породило новое направление, получившее с 1987 года аббревиатуру MEMS (МЭМС) (микроэлектромеханические системы). Краткое содержание: Микросистемы. Материалы и методы изготовления микросистем. Высокочастотные микропереключатели и микрореле. Конденсаторы и катушки индуктивности в микросистемах. Высокочастотные микрофильтры. Микрофазовращатели. Линии передач в микросистемах и их компоненты. Микроантенны. Монтаж высокочастотных микросистем.